馬爾文帕納科高分辯衍射儀XPert Pro MRD概述

X’Pert PRO MRD/XL是高及半導(dǎo)體材料的標(biāo)準(zhǔn)裝備，用于： 高及材料科學(xué)和納米技術(shù)，半導(dǎo)體材料研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制，可以適用各種應(yīng)用，尤其適合薄膜分析，例如： 搖擺曲線分析和倒易空間Mapping， 反射率和薄膜相分析，殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析， X’Pert PRO MRD/ XL 滿足半導(dǎo)體、LED、薄膜和高及工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿足直徑達(dá) 300 mm的晶片分析，并有精密的自動晶片裝載選擇；XL成為薄膜生產(chǎn)發(fā)展的先進(jìn)的分析手段，LED的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)。

可以適用各種應(yīng)用，尤其適合薄膜分析，例如：

·  振動曲線分析和交互空間圖
·  反射儀和薄膜相分析
·  殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析

同已經(jīng)證明的標(biāo)準(zhǔn)版本系統(tǒng)一樣，還有許多專門的版本：

· X’Pert PRO MRD平面衍射系統(tǒng)，可以測量與樣品表面垂直的晶格衍射
· X’Pert PRO Extended MRD 允許裝備 X射線鏡像和在線高分辨單色器，增強(qiáng)入射光束的強(qiáng)度。
· X’Pert PRO MRD XL 滿足半導(dǎo)體，薄膜和高及工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。

馬爾文帕納科高分辯衍射儀XPert Pro MRD技術(shù)參數(shù)：

★ 功率：3kW

★ 測角儀重現(xiàn)性：0.0001度

★ 測角儀類型：T-2T

★ 五維樣品臺