日本日立臺式大氣壓掃描電鏡AeroSurf 1500概述

不僅可在真空下，還可在大氣壓下進行SEM觀察

含水樣品也無需前處理即可直接觀察

大氣壓觀察

樣品設置在標準大氣壓環境下(105 Pa)

配置樣品的大氣壓倉室與SEM內部由隔膜分離，在保持SEM內部真空的同時，可對樣品進行電子束照射觀察

而且，可通過附帶的真空泵在負壓下(約103～105 Pa)進行觀察

低真空觀察

隔膜可拆卸，還可進行低真空SEM觀察和EDX分析

搭載了日立臺式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導體背散射電子檢測器

日本日立臺式大氣壓掃描電鏡AeroSurf 1500特點

★ 含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進行SEM觀察
★ 從低真空到大氣壓(數 Pa～105 Pa)，可在大范圍壓力下進行SEM觀察
★ 標準搭載ES-Corrector(電子束散射校正)圖像改善功能
★ 在真空模式下，除了通常的SEM觀察之外，還可進行EDX分析(選配)
★ 主機采用330 mm寬度的小型設計，實現節省空間和高便利性
★ 無需等待抽真空時間，快速實現從搭載樣品到觀察圖像的全過程